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日本某研究所开发8英寸蓝宝石基板制造装置喷嘴
时间:2022年10月11日
日本某研究所开发8英寸蓝宝石基板制造装置
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摘要:在福田结晶技术研究所最近的成果中,尤为具有冲击力及影响力的是开发成功了可实现8英寸口径(约200mm)的蓝宝石单晶的制造装置。通过切割用该制造装置制造的蓝宝石单晶,便可实现口径为8英寸的基板。由于制造装置已开发完成,因此该公司将制造8英寸蓝宝石基板纳入了议事日程。福田结晶技术研究所试制的
在福田结晶技术研究所最近的成果中,尤为具有冲击力及影响力的是开发成功了可实现8英寸口径(约200mm)的蓝宝石单晶的制造装置。通过切割用该制造装置制造的蓝宝石单晶,便可实现口径为8英寸的基板。由于制造装置已开发完成,因此该公司将制造8英寸蓝宝石基板纳入了议事日程。
福田结晶技术研究所试制的8英寸蓝宝石单晶制造装置
成品率相同的话,基板的口径越大,每块基板能获得的LED芯片数量就越多,从而越有助于提高生产效率,降低成本。
目前,白色LED使用的蓝色LED芯片大多在口径为2~4英寸的蓝宝石基板上制造而成。所以业界公认口径为6英寸的蓝宝石基板会越来越多地被使用,但在此之前,能否制造出来8英寸的大尺寸蓝宝石基板还不明朗。福田结晶技术研究所的装置,为实现8英寸产品打通了道路。
虽然该公司未公开技术细节,但据悉制造方法采用的是“CZ(czochralski)法”。采用该方法是“因为比EFG(edge-defined film-fed growth method)法及Kyropulos法等其他制造方法更适于大尺寸化”(福田承生)。
今后要想实现8英寸蓝宝石基板,除了要制造8英寸单晶之外,还必须改进对单晶进行切割的方法,以及重约20kg的8英寸蓝宝石单晶的搬运方法。
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